Table des matièresCaractéristique de l ’actionneur Electrostatique Fonctions réalisées par un micro-miroir ‘de torsion’ Le système de projection d’images Structure du DMD Les matrices ‘ 3D ’ de Lucent Technologies Les matrices ‘ 3D ’ de Lucent Technologies MEMS RF : Oscillateur, OCT, mélangeur Gyroscope piézo-électrique Daimler Chrysler AG / Temic, Sensors & Actuators 83(2000), p: 80 |
Auteur: FRANCAIS Olivier
Messagerie: o.francais@esiee.fr Page d'accueil: http://www.esiee.fr/~francaio Retour sur la présentation générale des MEMS |