Un MEMS : c ’est quoi?
MEMS : ‘ Micro Electro Mechanical System ’
(Microsystèmes Electromécaniques)
Bio-MEMS, RF MEMS, Optical MEMS
? Obtenu par les techniques de photolithographie issues de la micro électronique.
? Pouvant s’insérer dans un système complet (MEMS) ou bien constituer un système complet (MEMS/Microsystème)
? Applications plus large que la microélectronique
mécanique - fluidique - thermique - quantique - electromagnétisme
Biopuces / Lab On Chip / Optique / Nouveau capteurs
? Ayant des dimensions réduites (millimétriques) pouvant aller jusque au micromètre (cas de l ’épaisseur)