Avantages des Microsystèmes
Utilisation du Silicium pour intégrer des fonctions capteurs et actionneurs avec un électronique associé :
Pourquoi le Silicium ?
- Très répandu (fabrication des CI)
- Très grande pureté
- Fortement piézorésistif (Rôle de capteur de déformations)
- Semiconducteur (Rôle de capteur de température)
- Très bonnes propriétés mécaniques par rapport aux métaux
- Résistance à la fatigue mécanique (bon vieillissement)
- Propriétés élastiques reproductibles
- Pas de zone plastique dans le Si
- Très bon facteur de qualité ()
- Technologie des capteurs Si identique à celle des CI
- Miniaturisation - Fab Collective - Equipements existants
Intégration du Capteur et de l ’électronique associée