Références bibliographiques

Site web :

http://www.nexus-emsto.com

http://mems.isi.edu

http://www.trimmer.net

http://www.vdivde-it.de/mstnews

http://www.esiee.fr/~francaio/recherche/recher.html

Livres de références :

Silicon Sensors

Middelhoek S., Audet S.A. (Academic Press, 1989)

Microsensors : Principles and Applications

Gardner J.W. (Wiley, 1994)

Semiconductor Sensors

Sze S.M. (Wiley, 1994)

Sensor Technology and Devices

Riscti L. (Artech House, 1994)