Les MEMS
Micro Electro Mechanical Systems. Ou encore en français : MicroSystème ElectroMécanique.

Les Microsystèmes / MEMS : slideshow PPT

    "LIENS INTERNET MEMS"
    Organismes -Laboratoires - Techno et cours -Recherche d'articles - Microfluidique - Societe - Simulation - Wafers - Site perso

Organismes autour des MEMS et CI

* Français
--- Le PFM : Regroupement de laboratoire sur l'Île de France pour le développement de R&D - MEMS
--- CNFM : Comité National de Formation en Microélectronique; Dévelopement d'un axe spécifique MEMS (AIME)
---Réseau des micro et nano technologies (RMNT): Ministère de la reherche pour le développement de projet MEMS...
--- Ademis : association pour le développement des MEMS (Site fermé actuellement
--- Minatec : micro et nanotechnologies innovantes pour le futur (de la recherche à l'industrie) GRENOBLE
--- Sitelesc : Industries du semiconducteurs
--- Redomi : Réseau Doctorale en Micro
ile-de-france

* Européen :
--- Mems : Site de ressources pour les MEMS (News ; forum)
--- Nexus : Service européen de soutien pour les microsystèmes
--- Eurimus : Initiatives européennes industrielles pour le développement des microsystèmes
--- Europractice : soutien europeen aux développements des technologies avancées de l'électronique (ASIC- Microsystemes - MST) / Formation EUROTRAINING
--- FSRM : Fondation suisse pour la recherche en microtechniques (offres de cours, FC)
--- JEMI : Association européenne pour la promotion des équipements de la microélectronique (Procédé technologique, Masque, conception, Packaging, test..)
--- EUSPEN : (Nanotechnologie) European society for precision engineering and nanotechnology
--- European Business for Nanotechnology
--- EUREKA :
--- ETB : conception de MEMS (European Technology for Business...)
--- Circuit Multi Projets : CMP

* USA / Japon :
--- MEMS-CENTER : ressource américaine autour des MEMS

--- MEMS ClearingHouse (Darpa) info multiple, cours, news, forum...
--- UCLA : Activités MEMS à l'Université de Californie, Los Angeles
--- Micro-électronique et USA (via ambassade)
--- MOSIS Le CMP américain
--- Réseau sur la microfabrication dédiée MEMS

Revue et Newsletter autour MEMS / NANO
IOP (Institut de physique) :
--- Micromechanics (referee)
--- Microengineering Microelectromechanical Systems
--- Selection d' articles de IOP

--- Sensors and Actuators A: Physical
--- Sensors and Actuators B: Chemical

--- LIGA news (D)

--- Physiques : Physicsweb

MEMS
--- Micro Structure Bulletin
--- MST Online (D)
--- MSTnews (D) Ancien n° : / mst-online... download

--- Micromachine (Japon)

Nano
--- Nanotechnology
--- Info sur les Nanotechnologies
--- Nanoelectronics liste de liens MEMS et nano
--- Institute of Physics : Nanotechweb

--- Publications Nano - MSM : Computational Pub.

Evolution du marche des CI...
--- SEMI : site
--- Bureau US : site
--- site

Recherche & Articles sur le web

--- ** Guide de recherche d'articles **

--- * * * Sciencedirect : (personnal login puis search)
--- ScienceDirect: liens spécifiques sur S&A

--- Sensors and Actuators
--- Science en ligne !

LES BREVETS

----INPI : "RECHERCHE DE BREVETS"
----L'inist
----Site d'IBM * IBM: brevet * IBM_bis
----ACQweb : recherche defense??
----Site US : Patentgopher..

Revue sur les µCapteurs : Sensormag

Revues sur la Conception de CI :
-------Electronic design
-------
Electronic designer
------ EDN ...

La microfluïdique

--- Regroupement de chercheur francais: Groupe de Travail
--- GDR Microfluidique : CNRS
--- Activité à l'ESIEE : µcanaux et µpompe

Société avec produit
--- medtronic
--- disetronic
--- gesim

Association
--- Française
--- Denmark
--- Microfluidcenter

Prototype
University of Washington - Micro-Pump Research Group
Micropump With No-Moving-Part Valves

Le PDMS (Jussieu) microcanaux - ADN

AeroMEMS

Untitled Mems à l'X


Software de conception

Ansys :
--- Le site d'Ansys
--- Guide d'Utilisation d'ANSYS

Coventoreware :
--- Le site : Memcad (Coventorware)alias Microcosm

Memscap : Partenariat ESIEE / Salle Blanche
--- Le site :
Memscap

Cadence : dédié CI ; Layout (dessin de masque)
--- Le site Cadence
--- Aide pour Vituoso (Lab : Virtuoso, dessin de mask)

Intellisense
Tanner

Les conférences

--- Les conf... site d'un chercheur
---
Mecatronics :

Laboratoires de recherche MEMS

* FRANCE
--- CEA - LETI
--- Besançon Le LPMO (prog microsystèmes)
--- Toulouse : LAAS
........ Fiches sur les process
--- Marne La Vallée : ESIEE
.........Salle Blanche ESIEE
--- Lille : IEMN
--- Orsay : IEF
--- Grenoble : Pôle MINATEC (INPG - CEA) - Nanotec 300 (ST - Motorola - Philips)
--- Grenoble : LEG (Microsystèmes Electromagnétiques)
--- Besançon : LMA-RC (Micromachines)

* EUROPE
---
Berlin : Microsensors & Actuators Tech (des appli qui marchent) --- MAT : liste de liens Microsystemes
--- IFMT : Mems à Berlin
--- Suisse : Laboratoire Mr De Rooij Neuchatel
--- EPFL --- Serveur : EPFL Microtechnique
--- UK : Microactuator Centre (CCMicro)
---
Finlande : programme de soutien
--- Belgique : IMEC
--- Swede : Royal Institute of Technology (G.Stemme)

* US - Japan
--- Sandia laboratory : Très beau Objets! -
Sandia National Laboratories --- Sandia images mems
--- LE FUJITA Lab : LIMMS / CNRS
--- University UCLA ---
Welcome : UCLA (Bio / Aero / MicroFlow) --- UCLA : les infos --- Les MEMS à UCLA --- Optique MOEMS

--- MEMS : NTU Nanyang Technological University--- Micro NTU
--- Singapore : institut de microelectronique

--- Seoul National University : MOEMS - Capteurs - Bio...
--- Centre for Micro et Nano systems : chinois
--- Berkeley MEMS research
---
CU : MEMS université du colorado

--- Liste de programmes US de recherche

--- Biohybrid System :
--- Caltech
--- RF + Optique :
---
Biosciences

Technologie et cours autour des MEMS

--- Marc Madou : Cours et infos multiples ****
--- Les étapes
--- Des exemples
--- Cours sur d'intro sur les mems
--- Cours sur les microtechnologies (Rennes)
--- liste de liens sur microtechno _ implant
---
Des infos sur le Silicium
---
Proprietes du Silicium elect , chim , thermi...
--- BSAC : infos sur le Si, liste de liens

--- Tableau Périodique des éléments
---
Multi ressources ?
--- Cours micro-sensors
--- Cours intro sur les MEMS
--- Cours Stanford MEMS - ME117/220 - Input/Data - all!!!
--- Cours Stanford : MEMS design / Sensors & Actuators
--- Site de ressources (News ; forum)
--- cours Analog
--- MEMS: Actionneur Electrostatique
--- IBM Microélectronique Fabrication des CI

--- ucourses cours MEMS du Cornell University
--- EECS245 : cours sur MEMS Design
--- TRANSTEC un slide show sur la Micro
--- Intro : cours MEMS
--- Introduction : tutorial MEMS ppt
--- Animation autour des capteurs ("SensEdu")
--- Procédé Américain MUMPS (équivalent CMP)

 
 

Des Wafers / Fournisseurs de solution techno

--- Shin-Etsu
--- http://www.collegewafer.com/
--- Siltronix
--- OKMETIC

--- UniversityWafer

--- Masques : Photronics

--- SU8 : SOTEC

--- Soudure Anodique : fournisseur Evgroup

--- STS : DRIE (surface technology systems)

--- Fondeur (Foundry) :
- Cronos-MCNC : MUMPS process (racheté par MEMSCAP)
- Memscap : ...
- Sensonor : Bulk and bonding
- GEMAC : Bulk micromachining
- Bosch : DRIE

Site de chercheurs sur le domaine des MEMS:

--- Thèse 1 : PZR
--- Thèse 2 : sensor
--- Thèse 3 : Magneto
--- site 1 : hubert
--- Site 2 : moon
--- Liste de liens
--- Page de Hiroshi Toshiyoshi (MOEMS)
--- A visiter : Trimmer!!
--- Links Des liens autour des MEMS
--- Listes de liens sur les MEMS (Cours...)
--- MEMS : liste de liens
---
Gondi : Site d'un Professeur Assistant MEMS

--- Publications: de Mr Nguyen spécialistes sur lesMEMS RF
--- Elliot : chercheur de Berkeley
--- liste divers jmcent
--- les biopuces (ENS ulm)

--- micropinces : photo et video

Société autour des MEMS

Smart materials and devices
Analog devices : Acceleromètres et Gyroscopes
Texas Intrument : Digital Mirror Devices

Novasensor : Capteurs Silicium et microstructures

Lucent Technologies : MOEMS

IBM : micro-pointes pour stockage de masse


Mems optique...
Memscap : De gros projets!!
Tronics : Microsystem (concept & fab)
(capteur/RF/Optique/MicroFluidik/Microstruct)
Phsmems : (our limits... Your imagination) !
(optique - wireless com)
IBS : Ion Beam Services
Microcoils : PHS - MEMS (RF - Optik - Magnétik)
SOITEC (Wafers)
SPINTEC (nanomagnétisme)
Apibio : Biopucers

labo instru : MEMS
Issys
: microcapteur
Auxitrol : Capteur de pression

microTEC Societe allemande de solution/consultan MEMS
BioMEMS, societe Microfluidik, BioMEMS DNA
Program : offre de solution technologique

Biomérieux
Débiotech
Absys
Alditech: Tête de lecture magnétique
Opsitech
Teem photonics

IBM : MEMS

Norvège :
Sensonor : Capteur Pression, Inertie (automobile), Fonderie

Agilent Technologies : Micro capillaire
Atmel
Infineon
STmicroelectronics
Alcatel : Optical Switch
Bosch : Capteur pour automobile
Thales avionics (Pression, accéléro)
Honeywell

VTI Hamlin : Capteurs mécanique
Okmetic : Wafer en Silicium
Vaisala : Systemes météorologique

SEEA - MI4 : Société Européenne d'Extensiométrie Appliquée et Micro Ingénierie (Jauge, Gravure du Silicium, HF , Masque en chrome...)

US
MOEMS : Onixmicrosystems (8*8)
Switch : umachinesinc

 

Affymetrix
Genechip
nanochip
Micam
Sensitec (allemand)


AEA Technology : Capteurs et Microsystemes (Consortium MST-design)

Consultant :
Yole development

 

 

Visualisation de la déformation d'une membrane en silicium sous un champ électrostatique (réalisation effectuée à l'ESIEE):

Mesure effectuée à l'aide d'un interférometre optique ( IEF, Orsay)