Photolithographie
- Simple face
- Double face

Micro-usinage
Principe
- Surface
- Volume

Technique
- Sèche (RIE / DRIE)
- Humide

Gravure
- Isotrope
- Anisotrope

Technologie des CI
- Oxydation
- Dopage (Diff - Implant)
- PECVD
- (LP)CVD
- Sputtering
- Evaporation

Divers
- LIGA
- Micromoulage
- Electrodéposition

Assemblage
- Soudure Anodique
- Soudure Direct
- Découpe/Bonding

Capteur Actif
- Charge
- Tension
- Courant

• Pont de Wheatstone
• Capacités commutées

Micro-Capteurs
- Mécanique
- Thermique
- Chimique
- Magnétique

Actionneurs
- Electrostatiques
(Comb Drive...)
- Magnétiques
- Piézoélectriques
- AMF
- Thermique

Modélisation
- Vhdl-ams
- Analogie
- Lois d'échelle

- Mécanique des MEMS

Outils CAO
- Top/Down
- Bottom/Up

Logiciels
- Ansys
- Coventor
- .........

Fonderie

Organismes de soutien

Applications des MEMS
- BioMEMS (médical)
- MOEMS (Réseaux)
- RFMEMS (Télécom)
- Capteurs (Automobiles..)

Contexte économique
- Smart sensor